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過氧化氫低溫等離子體滅菌通過過氧化氫液體彌散變成氣體狀態后對物品進行滅菌，通過產生的等離子體進行第二階段滅菌等離子過程還可加快、徹底分解過氧化氫氣體在器械和包裝材料上的殘留。等離子體滅菌法的特點為作用迅速、殺菌可靠、作用溫度低、清潔而無毒性殘留。適用于不耐熱、不耐濕的診療器械的滅菌，如電子儀器、光學儀器等診療器械的滅菌，不適用于布類、紙類、水、油類、粉劑等材質的滅菌。
等離子滅菌應在專用的過氧化氫低溫等離子體滅菌器內進行，一次滅菌過程包含若干個循環周期，每個循環周期包括抽真空、過氧化氫注入、擴散、等離子化、通風五個步驟。過氧化氫為強氧化劑，在使用時需注意做好防護，防止皮膚、黏膜被滅菌劑沾染。過氧化氫等離子滅菌方式對被滅菌物品的材質、結構、干燥程度等有著極高的要求，應嚴格按照滅菌器使用要求進行滅菌，以免造成滅菌失敗。
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